ERT先进的表面轮廓测量与检测
便携式三维轮廓测量仪
仪器设备的基本技术参数
● 型号:MS100
● XY轴行程:100mm x 100mm
● Z轴行程:100mm
● Z轴量程:4mm(可选配50nm-24mm)
● 光斑直径:8um(可根据光笔不同型号选择,小可小于2um)
● XY轴分辨率:50nm
● XY轴平面度:<2um
● XY轴重复定位精度:0.5um
● Z轴线性度:0.01%F.S
● Z轴分辨率:0.13um(根据不同型号光笔小为14nm)
● XY轴大扫描速度:20mm/s
● 样品可测大倾角:漫反射表面大87度
● 适用范围:任何材质表面,尤其对玻璃、镜面、高光表面均可进行稳定测试
功能与应用
● 产品表面段差、高度、宽度、平面度测量
● 多层透明体厚度测量
● 2D轮廓/3D微观形貌扫描分析
● 2D/3D粗糙度测量
● 可配合产线定制非标自动化检测方案等
光谱共焦位移传感器原理简介
1. 一束白光穿过小孔S,照射在色散镜头组L上。色散镜头组把白光分解成不同波长的单色光,每一个波长对应一个固定的距离值。
2. 当对象出现在测量区域的时候,一个特定波长的单色光正好照射在其表面,并且反射进光学系统。
3. 此反射光通过一个小孔S,,(只有完美聚焦在被测体表面的光才可以穿过这个小孔),由波长识别系统(光谱仪)识别其波长,从而得到其所代表的精确距离值。
4.由光源射出一束宽光谱的复色光(呈白色),通过色散镜头发生光谱色散,形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来,只有满足共焦条件的单色光,可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长,换算获得距离值.