冷镜式露点仪不同水份含量气体在不同温度下镜面上会结露。采用光电，出露层并测量结露时温度，直接显示露点。镜面制冷有：半导体制冷、液氮制冷和高压空气制冷。冷镜式露点仪采用是直接测量，在检露准确、镜面制冷率和精密测量结露温度前提下，该种露点仪可作为露点仪。上精度±01℃露点温度，如欧伯特S8000，S4000、OptidewVision、Optidew等，精度可±05℃以内。
露点仪相对湿度RH%和露点dpoC都是湿度常用单位；根据实际运同，工程师们会使同单位。相对湿度是和环境温度有关，所以提到相对湿度，必须同时指明环境温度，否则是没有；露点是和环境温度没有关系。同一露点值，在不同环境温度条件下，对应于不同相对湿度。所以，在等压条件下，某一给定气体露点值是，而其相对湿度则根据环境温度变而有很多值。
控制转轮式干燥机锂离子装配车间，干燥工艺等都转轮式干燥机，将空气干燥至40~60oC露点以下。转轮式干燥机通过加热干燥空气进行再生，加热温度决定干燥，同时也是耗费能源环节。通过密切监控干燥空气露点值，从而调节转轮式干燥机再生温度，在满足湿度要前提下节能目。
