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产品简介

晶圆激光刻号机

产品价格：￥

上架日期：2023-04-07 08:47:50

产地：上海奉贤区

发货地：上海奉贤区

供应数量：不限

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详细说明

晶圆刻号打码机

产品介绍
是专业化的晶圆激光刻号打码专用设备，适用于2-8英寸晶圆的软打标、硬打标作业。
支持OCR字符和点阵字符，
适用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的软打标、硬打标。
全自动生产可加工2〞- 6〞、4〞- 8〞、8〞- 12〞晶圆
工业级激光器，稳定可靠，免维护
光束质量好，标识精细，可读性好
操作界面友好，使用方便，
无需外接水冷机

应用范围：

2-8英寸晶圆的软打标、硬打标
适用于Si, GaAs, Ge, SiC, GaP, InP, Sapphire, Quartz等的刻号、打码。

技术规格项目单位数值

最大加工尺寸晶圆尺寸 inch 6英寸
激光器功率激光器出口处 w 20瓦
激光器波长红外光纤激光器 nm 1064纳米
定位精度 mm 0.05毫米
重复精度 mm 0.02毫米
振镜最大扫描速度 mm/s 7000毫米/秒
振镜类型数字/模拟高速数字式振镜
最大负载 Kg 1.5千克
协作机械手最大臂长 mm 400毫米
重复精度 mm 正负0.03毫米
Z向行程 mm 210微米
电源 AC 两相220~240V 50HZ
最大耗电量 Kw 1.5千瓦
单独接地电阻 Ω 小于4欧
共用接地电阻 Ω 小于1欧
压缩空气供给压力 MPa 0.5~0.8兆帕
厂务真空供给 Kpa -0.6千帕
其他规格排风口口径 mm 50毫米

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首昂光电（上海）有限公司

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