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型号规格 |
SFS10 |
SFS20 | |
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激光波长 |
1.064μm | ||
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激光功率 |
10W |
20W | |
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激光重复频率 |
20KHz~100KHz | ||
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划片线宽 |
≤30μm | ||
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最大划片速度 |
160mm/s |
200mm/s | |
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划片精度 |
±10μm | ||
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工作台幅面 |
350mm×350mm | ||
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工作电源 |
220V/50Hz/1KVA | ||
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工作台 |
双气仓负压吸附,T型台双工作位交替工作 | ||
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冷却方式 |
强迫风冷 | ||
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