尼康干涉物镜CF PLAN5X/10/20X/50X/100X DI
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干涉物镜

2.5x 5x 10x 20x 50x 100x
工作距离（mm） 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
NA（数值孔径） 0.055 0.15 0.30 0.45 0.55 0.7
FOV（mm）1 5093×3818 2546×1909 1270×950 637×477 254×190 127×95
空间采样（mm）2 6.64 3.32 1.62 0.83 0.33 0.17
光学分辨率蓝光（L&S）（mm）3 2.55 0.93 0.46 0.31 0.25 0.20
光学分辨率白光（L&S）（mm）3 3.04 1.11 0.56 0.37 0.30 0.24
大坡度4 3.05o 8.6o 14o 21o 25o 42o
垂直分辨率（nm）PSI7
垂直分辨率（nm）ePSI7 <0.1nm（PZT0.01nm）
垂直分辨率（nm）VSI7 1nm5mm
垂直范围PSI(mm) 5mm
垂直范围ePSI(mm) 100mm
垂直范围VSI(mm) 10mm
扫描速率（mm/s） PSI：3-15mm/s ?VSI/ePSI：4-18mm/s
一般测量时间（s）9 PSI：3s ? VSI：10s? ePSI：30s