OTFC- 1550光驰机(年份:2015. 11)包上门安装培训,公司还有各种先进溅射和蒸镀机,承接各种高性能中长波红外光学窗口、各波段滤光片、各种光电子元器件产品以及定制化服务
真空室:SUS304,Ф1550*1800MM
工件架:Ф1400
工件架转速:10rpm to 30rpm (可变)
光学膜厚控制:HOM2- -R -VIS350A
光学膜厚监控仪:波长范围: 350nm to 1100nm |反射式/透射式
水晶式膜厚计:XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源:2套日本电子16P双枪
离子源:17寸光驰RF离子源
排气系统:机械泵2个,扩散泵Polycold (或2个冷凝泵)275机械泵+爱德华配套罗茨泵
性能
达到压力:7. 0X10-5Pa以下
排气时间:20分(大气压~1. 3X 10-3Pa)
基板温度:高: 350C
工作条件
设备尺寸:药500m00) x 7200m(D)X53700mm
电源:3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA
水流量:180升/分以上
空气压力:0.5MPa以上
重量:约11000kg
详情 杨总监 13723521401 18103045976