废气物质通过吸收光子或其他粒子的能量，使得化学键断裂，形成游离态的原子，再经过一系列的氧化还原等反应，终生成H2O和CO2等简单物质。经过长期研究发现，当化学物质通过吸收能量(如热能、光子能量等)，可以使自身的化学性质变得更加活跃甚至被裂解。当吸收的能量大于化学键键能，即可使得化学键断裂，形成游离的带有能量的原子或基团。在波长范围154nm-184.9nm(12KJ/mol-6KJ/mol)高能紫外线的作用下，一方面空气中的氧被裂解，然后组合产生臭氧；另一方面将污染物化学键断裂，使之形成游离态的原子或基团；同时产生的臭氧参与到反应过程中，使废气终被裂解，氧化成简单的稳定的化合物，如COH2O、N2等。
