氧化铈（CeO₂）减反射膜通过调控光的反射与透射，广泛应用于光学器件、光伏电池、显示器等领域。其制备材料需结合成膜机理、基底特性及应用场景综合选择，主要包括成膜核心材料、掺杂调节材料、基底材料及辅助材料四类

氧化铈减反射膜的核心成分是 CeO₂，但其直接成膜难度较高，实际制备中多采用铈基前驱体，通过热分解、化学反应等过程转化为 CeO₂。选择需满足溶解性、反应活性及成膜均匀性要求

无机铈盐：

硝酸铈（Ce (NO₃)₃・6H₂O）：水溶性好，成本低，是溶胶 - 凝胶法的常用前驱体，加热后分解为 CeO₂（反应：2Ce (NO₃)₃ → 2CeO₂ + 6NO₂↑ + O₂↑）。

氯化铈（CeCl₃・7H₂O）：易溶于水和乙醇，但含氯元素可能导致膜层残留杂质，需配合洗涤工艺使用。

草酸铈（Ce₂(C₂O₄)₃・10H₂O）：热稳定性适中，分解产物纯净（仅 CeO₂、CO₂），适合制备高纯度膜层。

有机铈盐：

硝酸铈铵（(NH₄)₂Ce (NO₃)₆）：氧化性强，在有机体系中溶解性好，可与醇类溶剂配合，用于化学气相沉积（CVD）的前驱体