ERT光谱共焦测量技术

      利用波长信息测量距离  由光源射出一束宽光谱的复色光（呈白色），通过色散镜头发生光谱色散，形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来，只有满足共焦条件的单色光，可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长，换算获得距离值。

     光谱共焦传感器测量光斑更小  激光位移传感器由于其采用三角测距原理并且光斑大，测量段差及间隙时，存在多面反射导致形状轮廓失真、边缘位置异常波动、检测精度下降等问题。采用光谱共焦测量技术且测量光斑最小可至10μm，可以测量出清晰的外形轮廓，并且可以保证非常高的测量精度。共聚焦效应最关键的就是将反射光聚焦到针孔上，然后光感应器件接收透过针孔的光信号解析位移测量值，整个光学原理决定着测量光斑越小，系统分辨率和精度越高。某些光谱共焦传感器因为收光能力弱，系统稳定性差，只能刻意放大测量光斑尺寸，以至传感器精度严重下降，但是从分辨率上不会明显显现，其实把传感器的测量光斑做的超大就像把传感器做成了“智障”。光谱共焦位移传感器测量光斑基本在10-20um。传感器的横向分辨率是测量光斑的一半，测量光斑大小决定了传感器的横向分辨率，比如测量一个0.1mm宽的边沿台阶，必须使用高端光谱共焦传感器。