光谱共焦位移传感器的功能介绍

全新技术，区别于传统三角测距法

由东莞蓝海精密提供的ERT色散光谱共焦测量技术让我们进入纳米级的测量领域

产品的独特性能

1. 产品原理：全新的光谱共焦原理，可测量距离和厚度；

2. 任何材质和表面：包括镜面、玻璃、陶瓷、半导体、高光金属等表面均可进行纳米级测量；

3. 超高精度测量：最小线性度可达0.03μm，分辨率为0.3 nm；

4. 从100μm-42 mm的可选量程；

5. 超高采样频率：2K-60KHz，用于生产线，替代人工并提高合格率；

6. 测量范围极广，几乎无死角，解决激光三角法测量无法回避的因表面材质变化或倾斜而导致测量误差   等问题，可测倾角87度；

7. 可进行透明工件（LCD、LCM、手机摄像头等）多层厚度的准确测量，最小可测量厚度为400 nm；

8. 可用于实验室的2D轮廓测量、3D微观形貌分析、表面粗糙度测量，到工业在线检测、自动化控制等。

光谱共焦位移传感器原理简介

1. 一束白光穿过小孔S，照射在色散镜头组L上。色散镜头组把白光分解成不同波长的单色光，每一个波长对应一个固定的距离值。

2. 当对象出现在测量区域的时候，一个特定波长的单色光正好照射在其表面，并且反射进光学系统。

3. 此反射光通过一个小孔S,,（只有完美聚焦在被测体表面的光才可以穿过这个小孔），由波长识别系统(光谱仪)识别其波长，从而得到其所代表的距离值。

4.由光源射出一束宽光谱的复色光（呈白色），通过色散镜头发生光谱色散，形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来，只有满足共焦条件的单色光，可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长，换算获得距离值.

主要应用领域：

粗糙度测量

得益于纳米级精度及超好的角度特性，本同轴共焦位移传感器契合ISO25178，可用于对表面粗糙度进行高精度测量。相对于传统的接触式粗糙度仪，同轴共焦位移计以更高的速度采集粗糙度轮廓，并且对产品表面无任何损伤。

轮廓和3D形貌测量

集成于3D扫描系统上，本同轴共焦位移传感器可以提供针对负载表面形貌的2D和3D测量数据。

透明体厚度测量

创新的同轴共焦原理使本传感器可以直接透过透明件工件的前后表面测量厚度，整个过程仅需要使用一个传感器从工件的一个侧面测量。相对于三角反射原理的激光位移传感器，本仪器因采用同轴光，从而可以更有效地测量弧工件的厚度。

液位控制测量

优异的非接触式同轴测量，我们传感器可以检测和测量液体的水平高度

在线检测

高采样频率，小尺寸体积和卡放的数据接口，使本仪器非常容易集成至在线生产和检测设备中，实现线上检测。

震动测量

由于采用超高的采样频率和超高精度,同轴传感器可以对震动物件进行测量,传感器采用的非接触设计，避免测量过程中对震动物件造成干扰，同时可以对复杂区域进行详细的测量和分析。