HORIBA 堀场 6151-100B 是一款耐（HF）的工业在线式 pH 复合电极，专为半导体、蚀刻、化工等含 HF 强酸的废水、药液 pH 监测设计，采用耐 HF 响应膜 + PSU 聚砜材质，抗腐蚀寿命长。

一、核心规格（官方）

型号：6151-100B（一体型复合 pH 电极）

类型：耐（HF）专用

测量原理：玻璃膜电位法（耐 HF 膜）

pH 范围：0–14（HF 环境建议 2–12）

温度范围：-10～+60℃

压力范围：0～0.2 MPa

温度补偿：内置1kΩ Pt1000

液接部：双孔氧化铝陶瓷（耐污垢、抗油污染）

电极材质：PSU（聚砜）（耐 HF、耐化学）

电缆长度：10m（标准；5m 为 6151-50B）

耐 HF 寿命：1000ppm HF、25℃、pH 3–4 约 1 个月（参考）

防护等级：IP67（工业在线）

适配仪表：堀场 HP-300/HP-480/HP-960 系列 pH 计

二、关键特点

强耐（HF）

专用耐 HF 玻璃膜 + PSU 材质，可在含 HF 蚀刻液、废水中稳定测量

双陶瓷液接：不易堵塞、抗油污、寿命更长

工业级稳定

内置温度传感器（1kΩ），自动温度补偿

抗干扰 10m 电缆，适合产线长距离安装

耐高低温（-10～60℃）、低压（0.2MPa）工况

低维护、长寿命

不易结垢、易清洗

比普通玻璃电极在 HF 环境下寿命提升数倍

三、典型应用

半导体 / 面板：蚀刻废液（HF+HNO₃）、清洗液 pH 在线监测

化工 / 电镀：含氟废水、酸性废水处理

金属 / 玻璃：酸洗、抛光液 pH 控制

精密制造：蚀刻线、显影液、剥离液 pH 监控