英国CRESSINGTON离子溅射仪

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产品范围：

英国CRESSINGTON离子溅射仪、CRESSINGTON镀碳仪、CRESSINGTON真空镀碳仪、CRESSINGTON、CRESSINGTON镀膜仪、CRESSINGTON镀金仪、CRESSINGTON溅射镀膜机

品牌介绍：

英国CRESSINGTON是业内知名的电镜配套高性能镀膜仪方案供应商也是此类配套方案的先驱者，自从上世纪六十年代开始，伴随着商业扫描电镜的普及，CRESSINGTON的配套镀膜设备也一并研发和配套使用，并获得科研工作者一致好评。经过近六十年发展，英国CRESSINGTON依然只专注于显微镜配套镀膜产品的设计研发和业内性能市场地位，现阶段已有超过六千客户群，也是配套高端扫描电镜的首选镀膜仪品牌。其专利的冷态溅射镀膜技术不但可以获得高质量膜层，也解决了长久以来困扰用户的热损伤和热变形问题，而其另一专利溅射电流回路设计也保证了真正均匀一致的镀膜。

主要型号：

CFE-60、MTM-10、MTM-20、Sputter Coater 108auto、Sputter Coater 108auto/SE、Sputter Coater 108

Cressington 108+108C高性能镀金镀碳仪简介：

Cressington 108+108C 全自动镀金镀碳联用仪是先进高质量的镀膜仪系统 ，在保证高性能镀膜同时，不会引起镀金与镀碳的相互污染，提高仪器使用效率以及镀膜精度。

优势说明：

●自动的换气与泄气功能，可以得到一致的膜厚，和佳的导电喷镀效果。

●通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。

●操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。

●在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果。

●数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和佳的镀膜效果。

●独特的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚大约20nm左右进行多次蒸发，无须切削或调整碳棒形状。

●108C Auto中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。该镀膜系统结构紧凑，容易操作，抽真空周期短。选件MTM-10高分辨膜厚监控仪可以精确地得到所需的碳膜厚度。

●使用新型的蒸发装置：电流和电压通过磁控头的传感线监控，蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低，碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作。

技术规格：

样品仓尺寸： 120 x 120mm（高） (4.75 x 4.75")，高强度不锈钢结构

样品台：可放置12个标准SEM样品座，高度可在 60mm内调节

溅镀材料：Bradley 型高纯度碳棒 (6.15mm, [1/4"])， Au/Pt

溅镀优点：基于微处理器反馈控制，远程电流/电压感应；提供真空安全联锁装置，大180A，配有过流保护

溅射控制：微处理器控制，安全互锁，可调，大电流40mA，程序化数字控制

溅射头：低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩

模拟计量：真空 Atm - 0.01mb  电流: 0 - 200A

厚度监测器： MTM-10高精度厚度监测器(选配)

控制方式：自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器（0－300s），自动放气

电源：200-240 VAC, 50/60Hz

功率：1000VA (包括镀碳机和真空系统)

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