在线尺寸测量 高速、高分辨率，同时保持稳定，超精密测量。理想的精密阶段，半导体检验/制造系统，以及超精密加工机。
?高分辨率的规模与信号的波长比光波的干涉仪系统approx138nm， ?稳定性高，不受湿度，空气压力和空气的扰动 ?参考点精度：±0.1μ米 ?准确度：±0.04μ米或更好（测量长度：40毫米） ?完全非接触式设计，返回错误几乎是消除。 ?特殊磁性和真空兼容型号 ?使用低膨胀玻璃：- 0.7×10 - 6/℃（测量长度：10至420毫米）
