产品简介
非标定制五槽超声波清洗机,源头超声波清洗设备厂家
产品价格:¥88888.00元/台
上架日期:2026-03-03
发货地:广东 佛山市
供应数量:不限
最少起订:1台
浏览量:264
详细说明
    详细参数
    品牌其他型号JHD-5-200
    类型机械臂式清洗介质其他
    动力槽数5
    用途工业用加工定制
    清洗温度可调频率28
    容积定制超声功率60
    加热功率12kw电源380
    外形尺寸其他工作方式超声波清洗
    适用领域新能源配件等产地广东佛山

    一、产品概述

    本设备为五槽全自动机械臂式超声波喷淋清洗机,专为半导体行业设计,通过多工位协同作业,实现对半导体器件、晶圆或精密零部件的高效、高洁净度清洗。设备集成超声波清洗、高压喷淋漂洗、循环过滤及智能控制等功能,可有效去除工件表面的颗粒、有机物及金属杂质,满足半导体制造对表面洁净度的严苛要求。

    二、结构与材质

    • 槽体布局:整机共五槽,采用模块化设计,各槽功能独立又相互衔接。

    • 材质配置:

    ◦ 3个预处理/漂洗槽采用PP(聚丙烯)材质,耐化学腐蚀、重量轻,适合中性或弱腐蚀性清洗液。

    ◦ 超声波主洗槽和高压喷淋槽采用优质不锈钢(如SUS304/316L),耐高温、耐强腐蚀,声学传导性能优异,确保超声波能量高效传递。

    • 机架与外罩:整机框架及外罩采用不锈钢材质,结构坚固,易于清洁,符合洁净车间使用标准。

    三、核心功能与工艺

    1. 超声波清洗:主洗槽配备高功率超声波换能器,通过高频空化效应,深度剥离工件表面及缝隙中的微颗粒污染物。

    2. 高压喷淋漂洗:喷淋槽采用扇形或锥形喷嘴,以高压纯水或专用清洗剂对工件进行全方位冲洗,去除残留药液和杂质。

    3. 机械臂传送:采用单臂往复式机械臂系统,由PLC精准控制,自动完成工件在各槽间的抓取、转移和定位,实现全流程自动化。

    4. 循环过滤:各槽配备独立循环过滤系统,有效去除清洗液中的悬浮颗粒,延长清洗液使用寿命,保证清洗效果稳定。

    5. 智能控制:通过人机界面(HMI)设置清洗时间、温度、超声功率等参数,支持多工艺配方存储与调用,具备异常报警与自动保护功能。

    四、应用场景

    • 半导体晶圆、芯片封装件、真空阀件等精密组件的后道清洗。

    • 去除光刻胶、金属离子、有机污染物及颗粒杂质。
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    佳和达超声波
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