| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌/厂家 | 德盛 | 化学名称 | 氢氧化锆 |
| 别名 | 氢氧化锆水合物 | 分子式 | Zr(OH)4 |
| 相对分子质量 | 159.25 | 物理状态 | 白色粉末 |
| Zr(Hf )O2含量 | 45% | 执行质量标准 | 企标 |
| 产品等级 | 工业级 | 用途 | 14475-63-9 |
| CAS | 14475-63-9 | 性状 | 白色粉末 |
| 包装规格 | 不限量 | 储存方法 | 密闭保存 |
| 注意事项 | 阴凉干燥处 | 产地 | 济宁 |
| 阶段 | 过程描述 | 关键参数 |
|---|---|---|
| 前驱体制备 | 氢氧化锆通过沉淀法 (如氯氧化锆水解) 制备，具有高活性、比表面积大的特点 | 纯度 > 99.9%，粒径 < 100nm，含水量可控 |
| 涂层沉积 | 以溶胶 - 凝胶、旋涂、ALD 等方法将氢氧化锆前驱体涂覆于半导体衬底表面 | 厚度 1-5nm (栅极绝缘层典型厚度) |
| 热处理转化 | 在 300-800°C 下退火，氢氧化锆脱水分解为氧化锆薄膜 | 退火温度决定 ZrO₂晶型 (单斜相 / 四方相 / 立方相) |
| 界面优化 | 可与 SiO₂形成复合结构，改善半导体 - 介质界面特性 | 界面层厚度 0.5-1.5nm，降低漏电 |
