Pfeiffer SplitFlow 310 是德国普发（Pfeiffer）公司生产的一款分流式涡轮分子泵，主要用于高真空和超高真空应用，常见于质谱仪、氦质谱检漏仪等精密科学仪器中。 ‌12

• ‌型号与规格‌：

  • 常见型号为 SplitFlow 310-3P，采用边立式设计。 ‌23
  • 抽气速率（抽速）：根据型号不同，通常在 ‌210 L/s‌ 至 ‌250 L/s‌ 之间。 ‌24
  • 转速：‌60,000 rpm‌。 ‌23
  • 压缩比：对氢气为 10²～10⁴，对油蒸气等重气体则大于 10¹⁰。 ‌4
  • 电压：‌220 V‌。 ‌13
  • 重量：约 ‌12.5 kg‌。 ‌3

• ‌核心特点‌：

  • ‌分流式设计‌：一台泵可同时为质谱系统的两个或三个腔体抽气，提高效率。 ‌4
  • ‌高性能‌：适用于高真空环境，对不同气体具有优异的压缩比。 ‌4
  • ‌配套控制器‌：通常与 Pfeiffer TC400 等控制器配合使用。 ‌2

• ‌应用与服务‌：

  • 主要用于‌氦质谱检漏仪‌、质谱仪等设备。 ‌2
  • 市场提供‌维修、保养‌服务，多家公司（如广州潽拓光电、深圳金华杰电子）提供原厂技术支持、备用泵及配件。 ‌12
  • 价格因新旧、服务类型（如维修或全新）差异较大，维修服务报价约 ‌¥1000元/台‌ 起，全新或高端服务需面议。 ‌14

• ‌注意事项‌：

  • 需定期维护冷却水系统，防止水垢影响散热。 ‌4
  • 真空腔体应保持清洁，避免杂物污染