| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 志圣 | 型号 | 志圣 |
| 操作方式 | 其他 | 干燥介质 | 其他 |
| 物料输送方式 | 其他 | 加工定制 | 是 |
| 温度范围 | 500 | 主要用途 | 运风式干燥烘烤箱 |
| 产地 | 广东 | 外形尺寸 | 其他 |
志昇半导体推出的双门双控氮气烤箱，专为高端集成电路封装与晶圆工艺设计，融合工业级洁净环境控制与精准热管理技术，满足半导体制造中对氧化防护、温控一致性与生产连续性的严苛需求。
双门隔离系统采用气密式对开门结构，配合耐高温硅橡胶密封条与正压气帘设计，实现工艺腔体与外部环境的物理隔离。操作时仅开启单侧门体即可完成晶圆取放，有效阻隔尘埃颗粒侵入（符合Class 1000洁净标准），同时减少腔内氮气消耗达40%，保障连续生产中环境稳定性。
独立双控温区配备两套完全分离的加热回路与温度传感网络，支持上下腔体差异化工艺运行。例如，上腔可设定150°C进行环氧树脂固化，下腔同步执行200°C高温退火，温控精度达±0.3°C
