| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 深空创想 | 型号 | 80110-VM |
| 加工定制 | 是 | 额定电压 | 24-48 |
| 额定功率 | 1.5kw | 额定电流 | 18.1A |
| 额定转速 | 1000r | 最大转速 | 3000r |
| 额定转矩 | 1401N.m | 适用范围 | 真空高温低温 |
| 外形尺寸 | 65/85/120 | 产地 | 深圳 |
真空伺服电机 - 高真空环境的精准动力解决方案
核心特点
深空创想专为真空环境研发的特种伺服电机,采用超低出气材料与全密封设计,确保在10⁻³Pa至高真空环境下稳定运行,保持卓越的定位精度和动态响应性能。

关键技术
材料工艺:采用不锈钢壳体、无氧铜绕组、聚酰亚胺绝缘材料
密封技术:全焊接密封结构,轴封采用磁流体密封技术 润
滑方案:固体润滑或特种真空润滑脂,确保超低出气率
温度适应:支持高温烘烤除气,工作温度范围-20℃至+150℃
主要应用
半导体制造:光刻机、刻蚀机、PVD/CVD设备内部驱动
真空镀膜:卷绕镀膜、光学镀膜设备的精密传动
科研仪器:电子显微镜、粒子加速器、真空分析设备
航天领域:空间环境模拟设备、卫星部件测试装置
选型建议 明确真空度要求(低真空/高真空/超高真空)
确认工作温度范围及是否需要烘烤功能
评估负载特性与运动控制精度需求
考虑系统兼容性与安装空间限制
产品优势
出气率<10⁻¹¹ Pa·m³/s·cm² 保持IP68同级密封性能
支持定制化设计与特殊认证
提供完整真空适配解决方案