低压伺服电机真空兼容真空伺服电动缸镀膜自动化用特殊材料低出气 -工控行业信息网(chinagkong.com)-工控行业门户网站

产品简介

低压伺服电机真空兼容真空伺服电动缸镀膜自动化用特殊材料低出气

产品价格：￥999.00元/台

上架日期：2026-01-04

发货地：广东深圳市

供应数量：不限

最少起订：1台

浏览量：3319

点击询价 QQ洽谈

详细说明

详细参数
品牌	深空创想	型号	80110-VM
加工定制	是	额定电压	24-48
额定功率	1.5kw	额定电流	18.1A
额定转速	1000r	最大转速	3000r
额定转矩	1401N.m	适用范围	真空高温
外形尺寸	65/85/120	产地	深圳

真空伺服电动缸 - 高真空环境精密直线驱动专家

产品概述
深空创想专为真空环境设计的精密直线驱动装置，集成伺服电机、真空减速机与密封推杆系统，可在10⁻³Pa及以上真空环境中实现高精度、可编程的直线运动控制。

核心技术
- 全真空密封设计：一体化密封壳体，磁流体旋转密封与波纹管直线密封组合
- 超低出气材料：不锈钢主体结构，特种工程塑料轴承组件
- 洁净润滑系统：固体润滑或全氟聚醚真空润滑方案
- 智能驱动集成：内置真空兼容伺服电机与控制器

性能参数
- 推力范围：100N-20kN（多规格可选）
- 行程范围：50-1000mm（支持定制）
- 定位精度：±0.01mm（高±0.002mm）
- 重复定位：±0.005mm
- 真空兼容：10⁻³Pa～10⁻⁷Pa，支持150℃烘烤
- 速度范围：1-200mm/s可调

主要应用
- 半导体制造：晶圆传输机械臂、真空阀门驱动、光刻机工件台
- 真空镀膜设备：挡板控制、基板升降、掩膜板定位
- 航天测试设备：空间环境模拟器驱动、卫星组件测试
- 科研仪器：同步辐射光束线控制、粒子加速器组件
- 新能源设备：真空熔炼炉、单晶炉提拉装置

选型建议
1. 环境参数确认
- 工作真空度等级
- 环境温度范围
- 洁净度要求（ISO等级）

2. 性能需求匹配
- 负载推力要求
- 行程与精度需求
- 速度与加速度参数

3. 安装配置
- 安装空间限制
- 连接接口形式
- 控制系统兼容性

4. 特殊需求
- 是否需要位置反馈
- 防护等级要求
- 认证标准需求

质量保证
- 每台产品经过真空环境性能测试
- 提供出气率检测报告（＜10⁻¹⁰ Pa·m³/s）
- 支持半导体设备配套认证
- 提供完整的真空应用解决方案

深空创想真空伺服电动缸——在纯净的真空环境中，提供精准可靠的直线动力，助力高端制造实现精密运动控制

在线询盘/留言

*您的姓名：

*联系手机：

固定电话：

*联系邮箱：

所在单位：

*需求数量：

*咨询内容：

您要求给厂家提供：

免责声明：以上所展示的信息由企业自行提供，内容的真实性、准确性和合法性由发布企业负责，本网对此不承担任何保证责任。我们原则上建议您选择本网高级会员或VIP会员。

企业信息

深圳市深空创想科技有限公司

会员级别：

------------ 联系方式 ------------

联系人：龚生（）

联系电话：190-42765926

联系手机：19042765926

传真号码：190-42765926

企业邮箱：18507131009@163.com

网址：

邮编：

进入商铺