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产品简介

低压直流伺服电机真空兼容半导体行业应用真空位移台丝杆导轨模组用控制精度1微米

产品价格：￥999.00元/台

上架日期：2026-01-04

发货地：广东深圳市

供应数量：不限

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详细说明

详细参数
品牌	深空创想	型号	80110-VM
加工定制	是	额定电压	24-48
额定功率	1.5kw	额定电流	18.1A
额定转速	1000r	最大转速	3000r
额定转矩	1401N.m	适用范围	真空高温
外形尺寸	60/85/120	产地	深圳

真空位移台 - 高真空环境精密定位专家

产品概述
深空创想专业级真空环境用精密位移台，采用超低出气材料与真空优化设计，可在10⁻³Pa及以上真空环境中实现纳米级精密定位，满足高洁净度工艺需求。

核心技术
- 真空密封系统：全密封结构与磁流体传动技术
- 低释气材料：不锈钢主体+陶瓷组件+特种工程塑料
- 洁净驱动方案：直线电机或真空兼容步进电机
- 精密导向系统：交叉滚柱导轨或空气轴承设计

性能参数
- 行程范围：50mm-300mm（支持定制）
- 定位精度：±0.1μm（高可达±10nm）
- 真空兼容：10⁻³Pa～10⁻⁷Pa（支持烘烤至150℃）
- 重复定位：±0.05μm
- 移动速度：1-100mm/s可调

主要应用
- 半导体制造：光刻机对准、晶圆检测、芯片封装
- 真空镀膜：基片精确定位、多层膜沉积
- 科研仪器：
- 电子显微镜样品定位
- 同步辐射光源实验装置
- 表面分析仪器样品台
- 微纳加工：聚焦离子束、电子束直写设备
- 光学检测：真空环境下的光学元件测试

选型建议
1. 真空等级匹配
- 明确工作真空度要求
- 确认是否需要烘烤功能
- 评估出气率控制标准

2. 性能参数选择
- 根据应用确定行程需求
- 明确定位精度和速度要求
- 考虑负载能力及稳定性

3. 安装配置
- 确定台面尺寸和安装孔位
- 选择适合的驱动方式
- 考虑多轴组合需求

质量控制
- 每台产品经过真空环境性能测试
- 提供出气率及洁净度检测报告
- 支持半导体设备配套认证
- 专业技术团队提供应用方案

深空创想真空位移台——在洁净纯净的真空环境中，实现微米级的精准定位，助力高端制造与前沿科研突破精度极限。

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深圳市深空创想科技有限公司

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