产品简介
供应日本VTEX品牌半导体超高钟摆阀3PV类型 漏率低精度高
产品价格：￥7500.00元/件
上架日期：2021-07-30
发货地：江苏 苏州市
供应数量：不限
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详细说明
    详细参数
    品牌日本VTEX型号钟摆阀3PV
    材质不锈钢阀瓣开启高度全程
    驱动方式气动连接形式法兰
    压力环境类型低压阀(PN<1.6Mpa)压力环境高压
    工作温度区间45℃特殊功能可以调整电导
    外形尺寸110*34*45流动方向双向
    介质温度90℃适用介质空气
    流动方向双向类型(通道位置)直动式
    加工定制否公称通径160-550
    适用范围真空设备,半导体行业重量21KG
    产地日本


    IPV，3PV，APC类型
    ·一步到位的精准动作。
    ·简单，构成组件少，拥有紧凑型节省空间的设计。
    ·标准规格拥有50万次动作的设计寿命，高耐久，无需检修的设计。
    ·阀体的密封件一律采用O型圈。为降低成本做出贡献。
    ·阀体的拆解只需松开1根螺栓即可。
    APC控制盒
    ·搭载可以计算出腔室容积的LEARN功能。
    ·可实现高速的正确压力控制，位置控制。
    ·可同时连接2台压力传感器。
    ·排气系列门阀：真空泵－腔室之间的门阀，也有作为控制压力的阀门使用。
    ·搬运系列门阀：作为各作业（晶片或玻璃基板etc）的出入口，用于空气－腔室之间的隔断。
    半导体・液晶屏制造装置
    半导体・液晶屏制造装置
    用真空门阀的应用案例介绍
    用真空门阀的应用案例介绍
    Exhaust System Gate Valve
    （Penduroll Valve）
    ·和APCPenduroll阀配合可以实现电导系数到0的控制。


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