| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型号 | CSF-25-160-2A-G |
| 类型 | 谐波减速器 | 载荷状态 | 强冲击载荷 |
| 传动比级数 | 双级 | 轴的相对位置 | 卧式减速器 |
| 传动布置形式 | 摆线式 | 加工定制 | 是 |
| 样品或现货 | 现货 | 齿面硬度 | 软齿面 |
| 布局形式 | 三环式 | 用途 | 变速机 |
| 输入转速 | 960rpm | 额定功率 | 360kw |
| 输出转速范围 | 50rpm | 许用扭矩 | 691N.m |
| 使用范围 | 化工 | 减速比 | 46 |
| 产地 | 日本 | ||
现在生产线上显影液涂覆方法主要有两种：日本HD产线传送谐波CSF-25-160-2A-GR连续喷雾显影和旋转浸没显影。光刻胶显影过程需要控制的主要工艺技术参数包括：显影温度、显影时间、显影液量、当量浓度、清洗、排风。
显影后的热烘培称为坚日本HD产线传送谐波CSF-25-160-2A-GR膜烘培，目的是蒸发掉硅片光刻胶中剩余溶剂，从而使光刻胶变硬，提高光刻胶与硅片的粘附性。坚膜过程也可以蒸发掉残余在硅片上的显影液和清洗用水。坚日本HD产线传送谐波CSF-25-160-2A-GR膜过程通常在硅片轨道系统的热板上，或在生产线上的专用炉中完成。坚膜温度大致为：正胶130℃，负胶150℃。
