| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型号 | CSF-25-160-2A-G |
| 类型 | 谐波减速器 | 载荷状态 | 中等冲击载荷 |
| 传动比级数 | 单级 | 轴的相对位置 | 立式加速器 |
| 传动布置形式 | 摆线式 | 加工定制 | 是 |
| 样品或现货 | 现货 | 齿面硬度 | 硬齿面 |
| 布局形式 | 三环式 | 用途 | 减速机 |
| 输入转速 | 3000rpm | 额定功率 | 111kw |
| 输出转速范围 | 47.6rpm | 许用扭矩 | 22N.m |
| 使用范围 | 矿产 | 减速比 | 543 |
| 产地 | 日本 | ||
真空吸盘可绕Z轴旋转，喷嘴可沿X、Y、Z移动，哈默纳科精密扁平谐波CSF-25-160-2A-GR围绕Z旋转。喷嘴沿硅片径向分滴光刻胶，这样光刻胶就可以均匀喷涂在硅片表面上。光刻胶涂覆后，在硅片边缘的正反两面都会有光刻胶的堆积。哈默纳科精密扁平谐波CSF-25-160-2A-GR边缘的光刻胶一般涂布不均匀，不能中“背面EBR”装置为边缘光刻胶的去除装置。
软烘的目的是去掉光刻胶中的溶剂、哈默纳科精密扁平谐波CSF-25-160-2A-GR增强光刻胶的粘附性、释放旋转涂胶产生的内应力、改善线宽控制、防止光刻胶粘附到其他器件上。软烘在真空热板上进行
