| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型号 | FHA-40C-100-E250 |
| 类型 | 谐波减速器 | 载荷状态 | 强冲击载荷 |
| 传动比级数 | 双级 | 轴的相对位置 | 卧式减速器 |
| 传动布置形式 | 同轴式 | 加工定制 | 是 |
| 样品或现货 | 现货 | 齿面硬度 | 软齿面 |
| 布局形式 | 三环式 | 用途 | 减速机 |
| 输入转速 | 3000rpm | 额定功率 | 360kw |
| 输出转速范围 | 50rpm | 许用扭矩 | 691N.m |
| 使用范围 | 矿产 | 减速比 | 23 |
| 产地 | 日本 | ||
气相外延工艺和CVD方法类似，通过包含反应物的携载气体，哈默纳科分子束谐波FHA-40C-100-E250-BC在衬底表面淀积同质材料。外延工艺主要用于在硅衬底表面淀积多晶硅薄膜，这些多晶硅是掺杂的硅晶体且晶向随机排列，用于在硅衬底指定区域实现导电。外延工艺与CVD方法的工艺设备结构基本相同。使用时用H2作为携载气体。为安全起见，在工艺开始之前哈默纳科分子束谐波FHA-40C-100-E250-BC采用N2清除反应炉中可能存在的O2。外延层的形成过程如图所示，化学反应公式见式（2-3）所示为一种气相外延设备。
分子束外延是一种在晶体基片上生长高质量的哈默纳科分子束谐波FHA-40C-100-E250-BC晶体薄膜的新技术。在超高真空条件下，
