| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | Hakuto | 型号 | 其他 |
| 产品用途 | 刻蚀,清洗 | ||
上海伯东日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
伯东离子蚀刻机主要优点
1. 干式制程的微细加工装置, 使得在薄膜磁头, 半导体元件, MR sensor 等领域的开发研究及量产得以广泛应用.
2. 物理蚀刻的特性, 无论使用什么材料都可以用来加工, 所以各种领域都可以被广泛应用.
3. 配置使用美国考夫曼离子源
4. 射频角度可以任意调整, 蚀刻可以根据需要做垂直, 斜面等等加工形状.
5. 基板直接加装在直接冷却装置上, 所以可以在低温环境下蚀刻.
6. 配置公转自转传输机构, 使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面.
7. 机台设计使用自动化的操作流程, 所以可以有非常友好的使用生产过程.
伯东离子蚀刻机 7.5IBE 技术规格:
真空腔
1 set, 主体不锈钢,水冷
基片尺寸
1 set, 4”/6”ϕ Stage, 直接冷却,
离子源
ϕ 8cm 考夫曼离子源 KDC75
离子束入射角
0 Degree～± 90 Degree
极限真空
≦1x10-4 Pa
刻蚀性能
一致性: ≤±5% across 4”
伯东离子蚀刻机 IBE 通不同气体的蚀刻速率:
