| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型号 | SHD-14-50-2SH |
| 类型 | 谐波减速器 | 载荷状态 | 强冲击载荷 |
| 传动比级数 | 单级 | 轴的相对位置 | 立式加速器 |
| 传动布置形式 | 摆线式 | 加工定制 | 是 |
| 样品或现货 | 现货 | 齿面硬度 | 硬齿面 |
| 布局形式 | 三环式 | 用途 | 减速机 |
| 输入转速 | 3000rpm | 额定功率 | 111kw |
| 输出转速范围 | 47.6rpm | 许用扭矩 | 22N.m |
| 使用范围 | 军工 | 减速比 | 76 |
| 产地 | 日本 | ||
氧化(Oxidation)工艺的主要目的是在硅衬底表面形成SiO2氧化膜。日本HD热氧化加工谐波SHD-14-50-2SH SiO2在微电子和微系统中的主要应用包括：钝化晶体表面，形成化学和电的稳定表面，日本HD热氧化加工谐波SHD-14-50-2SH即器件表面保护或钝化膜；作为后续工艺步骤（扩散或离子注入）的掩模（掺杂掩模、刻蚀掩模）；形成介质膜用于器件间的隔离或作器件结构中的绝缘层（非导电膜）；在衬底或其他材料间形成界面层（或牺牲层）。
热氧化是指在高温炉中反应，形成较厚的SiO2氧化层的过程，日本HD热氧化加工谐波SHD-14-50-2SH也称为热生长法。根据不同的作用，氧化层的厚度从60?-10000 ?。氧化温度一般在900℃-1200℃。
