| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型号 | SHD-14-50-2SH |
| 类型 | 谐波减速器 | 载荷状态 | 强冲击载荷 |
| 传动比级数 | 三级 | 轴的相对位置 | 卧式减速器 |
| 传动布置形式 | 摆线式 | 加工定制 | 是 |
| 样品或现货 | 现货 | 齿面硬度 | 软齿面 |
| 布局形式 | 三环式 | 用途 | 变速机 |
| 输入转速 | 1450rpm | 额定功率 | 360kw |
| 输出转速范围 | 50rpm | 许用扭矩 | 1782N.m |
| 使用范围 | 军工 | 减速比 | 45 |
| 产地 | 日本 | ||
光刻的目的是将电路图形转移到覆盖于硅片表面的光刻胶上日本HD离子传输谐波SHD-14-50-2SH。光刻胶是一种光敏的化学物质，它通过深紫外线（或极紫外线）曝光来印制掩模板的图像。涂胶和显影设备是用来完成光刻的一系列工具的组合。光刻过程包括预处理、涂胶、甩胶、烘干，然后用机械臂将涂胶的硅片送入光刻机。以步进式光刻机为例，日本HD离子传输谐波SHD-14-50-2SH在进行硅片和掩模板的对准、聚焦后，步进式光刻机先曝光硅片上的一小片面积，随后步进到硅片的下一区域并重复这一过程。
（3）刻蚀 刻蚀是在没有光刻胶保护的地方留下永久的图形。日本HD离子传输谐波SHD-14-50-2SH刻蚀工艺一般使用等离子体刻蚀机、等离子体去胶机和湿法清洗设备。现在主要使用干法等离子体刻蚀工艺。
