| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型号 | SHA32Y120CG-B12 |
| 类型 | 谐波减速器 | 载荷状态 | 强冲击载荷 |
| 传动比级数 | 双级 | 轴的相对位置 | 立式加速器 |
| 传动布置形式 | 分流式 | 加工定制 | 是 |
| 样品或现货 | 现货 | 齿面硬度 | 软齿面 |
| 布局形式 | 摆线式 | 用途 | 减速机 |
| 输入转速 | 1450rpm | 额定功率 | 15kw |
| 输出转速范围 | 111rpm | 许用扭矩 | 691N.m |
| 使用范围 | 矿产 | 减速比 | 99 |
| 产地 | 日本 | ||
CMP的主要工艺参数有：抛光时间、磨头向下压力、转盘速度日本HD旋转伺服谐波SHA32Y120CG-B12B2、磨头速度、磨料化学成分、磨料流速、抛光垫修整、硅片/磨料温度、硅片背压。
CMP工作过程的一个重要工艺步骤是终点检测，日本HD旋转伺服谐波SHA32Y120CG-B12B2常使用两种方法，一是电机电流终点检测，在抛光时硅片上不同材料的摩擦特性不一致，那么磨头电机感受到的阻力会有不同变化，电机电流也会相应发生变化。通过检测电机电流变化判断抛光过程是否进入不同材料层，从而判断是否到达抛光终点。二是光学终点检测日本HD旋转伺服谐波SHA32Y120CG-B12B2，该技术是基于光的反射系数，在反射光谱学中，光从膜层上反射的不同角度与膜层材料和厚度有关
