| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型号 | SHG-25-120-2UJ |
| 类型 | 谐波减速器 | 载荷状态 | 中等冲击载荷 |
| 传动比级数 | 双级 | 轴的相对位置 | 立式加速器 |
| 传动布置形式 | 同轴式 | 加工定制 | 是 |
| 样品或现货 | 现货 | 齿面硬度 | 软齿面 |
| 布局形式 | 三环式 | 用途 | 变速机 |
| 输入转速 | 1450rpm | 额定功率 | 360kw |
| 输出转速范围 | 50rpm | 许用扭矩 | 691N.m |
| 使用范围 | 化工 | 减速比 | 454 |
| 产地 | 日本 | ||
包括硅片清洗、脱水烘培、硅片成底膜三个步骤。哈默纳科伺服关节谐波SHG-25-120-2UJ气相成底膜采用湿法清洗和去离子水冲洗以去除玷污物，通过脱水烘培去除水汽，然后马上用六甲基二硅烷（HMDS）进行成底膜处理，它起到提高粘附力的作用。成底膜过程通常在如图2.15所示自动化轨道系统上与其他工艺按顺序完成。
2.旋转涂胶
光刻胶最基本的组成是有哈默纳科伺服关节谐波SHG-25-120-2UJ机溶剂中的一种聚合物溶液。光刻胶的物理特性包括分辨率、对比度、敏感度、粘滞性、粘附性、抗蚀性、表面张力、存储与传送特性、玷污和哈默纳科伺服关节谐波SHG-25-120-2UJ颗粒控制等。光刻胶主要有两个作用：将掩膜版上的图形转移到光刻胶上
