| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型号 | CSF-17-80-2UH-L |
| 类型 | 齿轮-蜗杆减速器 | 载荷状态 | 中等冲击载荷 |
| 传动比级数 | 双级 | 轴的相对位置 | 卧式减速器 |
| 传动布置形式 | 摆线式 | 加工定制 | 是 |
| 样品或现货 | 现货 | 齿面硬度 | 软齿面 |
| 布局形式 | 摆线式 | 用途 | 减速机 |
| 输入转速 | 1450rpm | 额定功率 | 111kw |
| 输出转速范围 | 47.6rpm | 许用扭矩 | 691N.m |
| 使用范围 | 矿产 | 减速比 | 4543 |
| 产地 | 日本 | ||
尽管半导体制造工艺非常复杂，但是产业界通常将这些复杂的工艺过程归纳为加法工艺日本HD退火工艺谐波CSF-17-80-2UH-LW、减法工艺、图形转移工艺及辅助工艺等工艺过程。
加法工艺。包括掺杂和薄膜工艺，使用设备主要有扩散炉、日本HD退火工艺谐波CSF-17-80-2UH-LW离子注入机和退火炉。薄膜工艺包含氧化、化学气相淀积、溅射和外延，使用设备包括氧化炉、CVD反应炉、溅射镀膜机和外延设备。掺杂工艺中有扩散和离子注入工艺。
减法工艺。是指刻蚀工艺，包括干法刻蚀和湿法腐蚀，使用设备包括湿法刻蚀机、反应离子刻蚀机。日本HD退火工艺谐波CSF-17-80-2UH-LW图形转移工艺。主要方法为光刻工艺。使用设备有涂胶和显影设备，以及光刻机
