碳化硅（SiC）

主要用途

• 滑动部件（机械密封、化工泵轴承、轴）
• 粉碎机部件（分级机、气流粉碎机、砂磨机）
• 半导体制造设备部件（XY平台、MOCVD托盘、聚焦环、晶圆夹盘）
• 成型机部件（相机镜头成型机部件）
• 耐热部件（燃烧器喷嘴、高温试验机部件、熔融金属用坩埚）
• 耐磨部件（喷砂机喷嘴、喷丸机抛丸机叶片、埋地管道保护板、钓具导向环）

特点

碳化硅是一种黑色陶瓷，和其他的精密陶瓷相比，在高温环境（1000℃以上）中机械强度降低幅度小、耐磨耗性高。
因其强共价键，在各种精密陶瓷材料中硬度最高、耐腐蚀性优异、在液体中的滑动特性良好。
利用这些特点，使用在机械密封、化工泵轴承等方面。此外，也可用于半导体生产设备的晶圆叉等。

碳化硅

热膨胀系数为RT～200℃时的测量数据。