| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 其他 | 型号 | TGkine1700M,TGkine2200M |
| 输送介质 | 其他 | 驱动方式 | 电动泵 |
| 介质温度类型 | 常温泵 | 材质 | 不锈钢 |
| 最大出口压力类型 | 其他 | 叶片式泵叶轮级数 | 其他 |
| 叶片式泵吸入方式 | 其他 | 叶片式泵叶轮形式 | 其他 |
| 叶片式泵壳体型式 | 其他 | 叶片式泵泵轴位置 | 其他 |
| 结构类型 | 离心式 | 颜色 | 白色 其他 |
产品特点：
将电源控制器与分子泵一体化
■省电设计
■轻巧设计
■对应防护等级IP54
■多种通信接口
■对应国际规格 CE/NRTL/SEMI-S2
使用场合：
・半导体制造设备
・FPD制造设备
・太阳能电池制造设备
・玻璃/镜片等光学元件加工
・薄膜加工
・加速器/宇宙环境模拟设备
技术参数：
| 型号※1 | TGkine1700M | TGkine2200M | |
| 吸气口法兰 |
ISO-B200 VG200 |
ISO-B250 VG250 |
|
| 排气口法兰※2 | KF40/KF50 | ||
| 排气速度 | N2 (L/s) | 1650 | 2200 |
|
N2 (附加金属保护网)(L/s) |
1570 | 2100 | |
| H2 (L/s) | 1550 | 1800 | |
| 最大气体流量※3、※4 | N2 (sccm) | 4400 | 5000 |
| Ar (sccm) | 2600 | ||
| 最大压缩比 | N2 | >2×108 | |
| H2 | 3×103 | ||
| 极限压力※5 | (Pa） | <2×10-7 | |
| (Torr） | <1.5×10-9 | ||
| 最大排气口压力※6 | (Pa) | 220 | |
| (Torr） | 1.65 | ||
| 启动时间 | (min) | ≦10 | |
| 停止时间 | (min) | ≦10 | |
| 输入电压 | (V) | AC200-240V | |
| 相数 | 単相 | ||
| 频率 | (Hz) | 50/60 | |
| 电流 | (A) | Max. 5.3 | |
| 所需电力 | (kVA) | Max. 0.9 | |
| 重量 | (kg） | 65 | 62 |
