| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | Edwards | 型号 | STP-iXA2206 |
| 输送介质 | 水泵 | 驱动方式 | 电动泵 |
| 介质温度类型 | 高温泵 | 材质 | 不锈钢 |
| 最大出口压力类型 | 咨询 | 叶片式泵叶轮级数 | 多级泵 |
| 叶片式泵吸入方式 | 单吸泵 | 叶片式泵叶轮形式 | 半开式叶轮 |
| 叶片式泵壳体型式 | 节段式 | 叶片式泵泵轴位置 | 立式泵 |
| 结构类型 | 咨询 | 颜色 | 其他 |
Edwards爱德华STP-iXA 2206系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内领先的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的STP-iXA2205系列的新技术）。该泵的高度等于STP-A2203C的高度，也等于STP-iXA2205系列（不带其电源供给(iPS-1200)）的高度。这一完全集成的产品易于安装且占地面积小，可作为所有应用工具的一体化解决方案。
用途
· 金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
· 电子回旋共振(ECR)刻蚀
· 薄膜沉积CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
· 溅射
· 离子注入源，射束线泵送和站
功能与优势
· 紧凑型设计，包括完全集成的控制器
· 创新性自传感轴承系统
· 数字化5轴控制
· 与现有涡轮泵相比振动级别降低了50%
· 可以配置为运行腐蚀性制程
