| 详细参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | HarmonicDrive | 型号 | SHF-40-80-2UH |
| 类型 | 谐波减速器 | 载荷状态 | 强冲击载荷 |
| 传动比级数 | 单级 | 轴的相对位置 | 卧式减速器 |
| 传动布置形式 | 摆线式 | 加工定制 | 否 |
| 样品或现货 | 现货 | 齿面硬度 | 软齿面 |
| 布局形式 | 三环式 | 用途 | 减速机 |
| 输入转速 | 3000rpm | 额定功率 | 360kw |
| 输出转速范围 | 50rpm | 许用扭矩 | 691N.m |
| 使用范围 | 化工 | 减速比 | 98 |
| 产地 | 日本 | ||
是真正涂布粘着在晶圆上之数十甚至数百倍，极其可惜；哈默纳科涂布机谐波齿轮SHF-40-80-2UH因为甩到晶圆外的光阻中有机溶剂迅速挥发逸散，成份大变，不能回收再使用。
5、厚光阻
德国Karl-Suss公司开发了一种新型的光阻涂布机，哈默纳科涂布机谐波齿轮SHF-40-80-2UH称为GYRSET? ，其卖点在于强调可减少一半的光阻用量，且得出更均厚的光阻分布。其原理极为单纯：只是在真空转台上加装了跟着同步旋转的盖子。如此一来，等于强迫晶圆与盖子之间的空气跟着旋转，那么光阻上便无高转速差哈默纳科涂布机谐波齿轮SHF-40-80-2UH的粘性旋转拖曳作用。故光阻在被涂布时，其与周遭流体之相对运动并不明显
