TELEDYNE B-A离子规 IGE 3000
IGE- 3000电离规管及电子部分 Teledyne Hastings仪器IGE- 3000电离规管和电子线路,为客户提供了精确的,可重复的压力测量,测量范围始于中真空范围,一直持续到超高真空范围。 完整的测量系统包括一个双丝微型Bayard-Alpert电离规管和电子封装。该规管相对于传统的Bayard-Alpert规管有许多创新之处。例如,灯丝会适当的紧张,从而提供可重复的性能表现。此外,所有管材料都经过选择和加工,让产品具备始终如一的结构完整性。 特性 •量程- 10E-9Torr到10E-2Torr •微型Bayard-Alpert规管 •24伏直流电输入(11.5伏- 30伏直流) •稳定精确的电极电压 •精密的静电计 •RS232/485通信 •两个独立的TTL设置点 •自动高压力关断设计 •双丝设计,带状态指示灯 •远程灯丝作业(使用Hastings HPM 2002 或者CVT-4) 应用: •薄膜镀膜 •真空加热炉 •等离子体制程 •溅射 •校准系统 •化学气相沉积(CVD) •粒子加速器 •照明产品制造附件 包括通用电源和串行电缆
| 规格 | IGE-3000s 真空规管 | 规格 | IGE-3000 显示和电子部分 |
| 仪表/读数计仪表/读数计 | IGE-3000 | 显示 | LED |
| 真空量程 | 10-9- 10-2 Torr (10-6 - 10 mTorr) | 控制点 | 两个独立的 TTL |
| 精度 | +/-15% 读数在 量程 10-8 - 10-2 Torr 区间 | 输出 | RS-232 (标准) RS-485 – 半双工 RS-485 – 全双工 |
| 感应器类型 | 微型 Bayard-Alpert 规管 | 电气连接 | 15针微型D |
| 灯丝数量 | 2 | 单位 | Torr |
| 管接口 | KF-25 (标准) 2.75楔形法兰 1" 外径 平口管 | 电源(内置) | 通用电源 100-240 VAC 输入 24 VDC 输出 |
| **温度 | 200oC 无电气部分 | 电子抗干扰能力 | ENC 610101 Class A IEC 61326-1: 6.2节 |
| 工作温度 | 0 - 50 C | 电源 | 11.5 - 30 VDC |
| 约重 | 1.5 lbs(0.68KG) 根据型号而定 | 电源线长 | 3.2 feet (1 米) |