TELEDYNE 复合真空规 HPM 2002 OBE
双传感器-宽量程复合式真空传感器和真空计2002系列 特性: •紧凑坚固的设计 •经验证的可靠性 •宽的动态量程0.1 mTorr - 1000Torr •耐150 PSIG骤变压力 •快速动态响应 •朝向任何方向安装 应用 •等离子镀膜 •薄膜镀膜 •OEM设备 •负载锁 •空调附件 •NIST可追踪校准 •快速连接 •装置和过滤器
规格
HPM 2002型号
HPM-2002 OBE 型号
型号
HPM 2002
HPM 2002 OBE
真空量程
0.0001 - 1000Torr (0.1 mTorr - 1000 Torr)
0.0001 - 1000Torr (0.1 mTorr - 1000 Torr)
精度
+/-1.5%读数100-1000 Torr +/-20%读数0.001 - 100 Torr
+/-1.5%读数100-1000 Torr +/-20%读数0.001 - 100 Torr
直接作用力式感应器
压电电阻 - 32 - 1000 Torr 根据气体成分加权平均值 在8 和 32 Torr 之间
压电电阻 - 32 - 1000 Torr 根据气体成分加权平均值 在8 和 32 Torr 之间
热电导感应器
皮拉尼 - 0.0001 - 8 Torr 根据气体成分加权平均值 在 8 和 32 Torr 之间
皮拉尼 - 0.0001 - 8 Torr 根据气体成分加权平均值 在 8 和 32 Torr 之间
传感器接口型号
(单独购买) HPM-2002S-01 1/8" NPT (标准) HPM-2002S-02- 1/4" VCR HPM-2002S-03- 1.33 Conflat Flange楔形法兰 HPM-2002S-04- 2.75 Conflat Flange楔形法兰 HPM-2002S-05-KF-16 HPM-2002S-06-KF-25 HPM-2002S-07- 1/2" OD Smooth Tube平管 HPM-2002S-08- 1/2" VCR
(包含) 1/8" NPT (标准) 1/4" VCR 1.33 Conflat Flange楔形法兰 2.75 Conflat Flange楔形法兰 KF-16 KF-25 1/2" OD Smooth Tube平管 1/2" VCR
显示
3位LED浮点尾数 加上2位指数
4位LED浮点
单位
用户选择 -Torr, mbar, Pa
Torr (标准) mbar Pa
气体读数
(标准)氮气 氩气 氦气 水蒸气 定制
(标准)氮气 氩气 氦气 水蒸气 定制
校准
3 point (标准 NIST附带与文档 NIST 证明书 (无文件) 定制校准
3 point (标准 NIST附带与文档 NIST 证明书 (无文件) 定制校准
校准气体
氮气
氮气
开口尺寸
1/4" DIN锥形销 宽-3.75" 高-3.75" 深-6.60"
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标准输出
模拟 - 1.0 - 4.5 V 单通道十进制线性
双模拟 0 - 10 V 2通道线性
输出选项
RS 232 RS-485 双 4-20 mA (有或无控制继电器(1A) 双 0-10 VDC (有或无控制继电器(1A) 双控制继电器 Device Net®(设备网)
RS 232 RS-485 半双工 RS-485 全双工 双 4-20 mA Device Net®(设备网)
控制点标准
2 TTL 输出 1 TTL 远程零输入
2 TTL 输出 1 TTL 远程零输入
工作温度范围
0o- 50o C
0o- 50o C
响应时间
200毫秒
200毫秒
电源
90 - 260 V交流 - 50 - 60 Hz
13 -30 V直流 (可选配供电电源)
电源线长
6 feet (1.8米)
可选电源线
真空感应器电缆线长
6.2 feet (2 米) 15.5 feet (5 米) (单独购买)
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约重
2.3 lbs (1 KG)
12 oz(340G) (带 1/8" NPT)