厚度模式是一个附加的测量模式,专门用来测量透明样品的厚度。
这种模式下传感器同时测量透明样品两面的位置,然后通过两个位置的不同计算出厚度。测量厚度比测量位移更难,精确度也下降。厚底测量也受一些限制。为了获得在该模式下的计量性能,应该执行一个特殊的叫做“厚度校准”的程序。厚度校准是用户来执行的。这个过程需要一个厚度标准。
测量数据
在样品的每一个点传感器都要同时测量几个数据。 在位移测量模式下测量数据有:
√被测样品点的距离
√反回的散射光束的光强
在厚度模式下测量数据有:
√样品第一个面的距离和光强
√样品第二面的距离和光强
√厚度
除了测量数据外传感器还传出一些附加数据(计数,状态……)
传感器可以设置传输一些或全部这些数据